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現 の可能 性 を持 って お り,フ ォ トニ ック結 晶の提 唱1)2)以来,応 用 デバ イ ス としての研究 対象 の一 つ にあげ られ て い る.ま た,フ ォ トニ ッ ク結 晶 はフ ォ トニ ッ クバ ン ドギャ ップ以 外 に も大 きな異方 性や 高 い分散 性 を有 してお り,伝 搬 域に お いて例 えば 偏波制 御性 を持 った発光 素 子の形 成 とい った 応用 も可 能 で あ る.2次 元 フ ォ トニ ッ ク結 晶 と組合せ た化 合物 半導体 に よ る レー ザ発振 はす で に 報告 されて い るが3)~6),3次 元構 造 にお いて はCdSや 色素 を3次 元 周期構 造 の空 隙部分 に取 り入れ る基礎 的 な実 験 が行 われ てい る 段階 で あ る7)8).自 己 クロー ニ ン グ法9>10)は高 周波(rf)バ イアス ス パ ッ タ リン グに基づ く自己整形 を利 用 した3次 元 フ ォ トニ ック結

Fabrication of CdS Two-dimensional Photonic Crystals Using rf Sputtering and Assessment of Their Emission Properties