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A curva tipica de velocidade de bombeamento de bombas ionicas por “sputtering” apresenta um maximo entre (10-5 e 10-6)mbar. A pressoes na regiao de 10-9 mbar a velocidade cai para cerca de 45% do seu valor maximo. Essa caracteristica das bombas ionicas e bastante inconveniente pois significa uma grande reducao na eficiencia de bombardeamento na regiao de trabalho (10-9 ~ 10-10)mbar. Neste artigo e descrito um prototipo de alto desempenho na regiao de ultra-alvo vacuo. A velocidade maxima e de 70 ?/s (N2 seco), a 10-6 mbar, e se reduz a 81% deste valor a 10-9; a pressao final e de 2,4x10-10 mbar. Sao descritos, em detalhes, o equipamento e o procedimento utilizados na avaliacao das caracteristicas do prototipo.

CONSTRUÇÃO DE UM PROTÓTIPO DE BOMBA IÔNICA DE ALTO DESEMPENHO NA REGIÃO DE ULTRA-ALTO VÁCUO