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最近,微 小変 位の検 出お よび制御へ の関心 が高 まってい る。電 子 デバ イス にお けるサブ ミクロ ン加工技術 は,電 子 工学 の分野 において きわめ て有 用で あ り,機 械工 学の分野 において も,超 微細加工,微 小 変位制御 お よび計 測 に関 す る技術 は重要 にな って きて いる。微小 変位 の制御 には変位 を検 出す る位置 セ ンサ,変 位 を補 償 す るア クチ ュエー タお よび制御 システムが必要 で ある。ア クチ ュエ ータ素子 の構 成 には,強 誘電体 材料 の圧 電効果,逆 圧電 効果,あ るいは 電歪効果 を利用 した ものが有望視 され てい る(1)。 位置 セ ンサ にっい ては,代 表 的な半導体 光位置 セ ンサで あ るPSD(PositiOn Sensitive Photo Detector)(2)~(5)が, 非接触,小 型,高 分解能 といった特徴 か ら広 く使 用 され て い る。 しか しなが ら,従 来のPSDの よ うに一 組 の横 方 向

A Pb<sub>2</sub>CrO<sub>5</sub> Film Optical Beam Position Sensor with High Resolution and High Speed Response Abilities