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Dieser Beitrag betrachtet die Messunsicherheit piezoresistiver Drucksensoren entsprechend dem von der ISO herausgegebenen Guide to the „Expression of Uncertainty in Measurement“, kurz GUM genannt. Es wird gezeigt, dass das Rauschen im Sensor stark durch die Sensorpassivierung beeinflusst wird. Neben der Temperatur erwies sich die Feuchtigkeit als zweite bedeutsame Ursache der Messunsicherheit.

Messunsicherheit piezoresistiver Sensoren (Uncertainty in the Measurement of Piezoresistive Sensors)