English (United Kingdom)

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/featured_content/oa?rat=en

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/highlighted_journal/

Global: Zendy Tools annual

Presents the keyphrase highlighting as premium feature

Keyphrase Highlighting

Presents the summarisation as premium feature

Summarisation

Insights

Presents the pdf analysis as premium feature

PDF Analysis

Presents the zaia usage as premium feature

ZAIA

Global: Zendy Tools monthly

Global: Zendy Plus monthly

Presents the access of premium content as premium feature

Premium Content

Global: Zendy Plus annual

Global: Zendy Free Plan

Vorgestellt wird ein kompaktes, durchstimmbares Infrarotfilter, welches als Fabry–Perot-Interferometer (FPI) in 1. Ordnung für den Spektralbereich (3...5) μm ausgebildet ist. Das Filter ist mikromechanisch aus doppelseitig polierten, 300 μm dicken Si-Wafern gefertigt. Die Si-Wafer werden nasschemisch strukturiert und durch Waferbonden gefügt. Als Resonatorspiegel wurden Bragg-Reflektoren gewählt, die aus alternierenden λ/4-Schichten aus SiO 2  und Poly-Si aufgebaut sind. Der bewegliche Spiegelträger besteht aus zwei Teilen, um ein Festkörpergelenk aus zwei parallelen Federn zu bilden. Elektrostatische Antriebe lenken den beweglichen Spiegel aus seiner Ruhelage aus und verkleinern den Luftspalt. Durchstimmbare Filter für den Bereich von (4,5...3,0) μm mit einer spektralen Bandbreite von (50...60) nm wurden erfolgreich getestet.

Mikromechanisches durchstimmbares Fabry–Perot-Filter für die IR-Gasanalytik (Micromechanical Tunable Fabry–Perot Filter for IR Gas Analysis)