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Es wird ein neuartiges “Single-chip”-Metalloxidgassensorarray zur Qualifizierung der Luftgüte vorgestellt. Das Sensorarray besteht aus vier unterschiedlich gassensitiven Sensorelementen (Cr 1,8 Ti 0,2 O 3+z , ZnO, SnO 2 , WO 3 , V 2 O 5 ), welche monolithisch auf einem Sensorchip integriert sind. Es wurde sowohl eine Variante auf Bulk-Silizium als auch eine mikromechanische Variante mit deutlich reduziertem Heizleistungsverbrauch entwickelt. Die mikromechanische Ausführung reduziert den Heizleistungsverbrauch von 1,6 W auf 0,26 W bei einer Arbeitstemperatur von 350°C. Labor- und Langzeitmessungen in anwendungsrelevanten Szenarien zeigen die Eignung als Luftgütesensor.

Metalloxidgassensor-Array für die Qualifizierung der Luftgüte (Metal Oxide Gas Sensor Array for Air Quality Monitoring)