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Die Zuordnung der Messunsicherheit zu einem Messergebnis im Bereich der Nanomesstechnik ist eine neue Herausforderung für die angewandten Wissenschaften. Es mangelt bisher an Modellen und Vorgehensweisen zur Analyse und Interpretation der Messaufgaben und Einflüsse. Auch die zu Grunde liegenden technologischen Mechanismen sind häufig nur unzureichend bekannt. Anhand von Nanoclustern wird versucht, eine Messunsicherheitsbetrachtung in diesem Bereich zu erläutern. Typische Einflüsse werden gemäß ISO-„Guideline to the Expression of Uncertainty in Measurement“ (GUM) modelliert, Unsicherheitsbeiträge quantifiziert und zugehörige Unsicherheitsbereiche festgelegt, bevor das vollständige Messergebnis, bestehend aus Erwartungswert und beigeordneter Messunsicherheit berechnet, sowie das resultierende Messunsicherheitsbudget analysiert wird.

tm - technisches messen

Messunsicherheitsbestimmung in der Nanotechnologie am Beispiel eines Nanoclusters (Determining Measurement Uncertainty in Nanometrology with the example of Nanoclusters)