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Das optische Absorptionsverhalten organischer Schichten, die für organische Leuchtdioden (OLEDs) verwendet werden, bestimmt entscheidend die Leuchteffizienz des fertigen Bauelements. Gleichzeitig soll die Dicke von Einzelschichten oder von ganzen Schichtsystemen kontrolliert werden können. Die spektroskopische Ellipsometrie ist ein zerstörungsfreies und berührungsloses Verfahren, mit dem sich simultan strukturelle und optische Materialeigenschaften routinemäßig erfassen lassen.

Charakterisierung von OLED-Schichten mittels Spektral-Ellipsometrie (Characterization of OLED Layers by Spectroscopic Ellipsometry)