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In diesem Beitrag wird BICEPS präsentiert, ein T-CAD-Werkzeug zur Unterstützung im Mikrosystementwurf. Ursprünglich zur Steuerung des Kontrollflusses im Entwurfsprozess nasschemisch geätzter Siliziumkomponenten konzipiert, wurde es um ein regelbasiertes Werkzeug zur Analyse und Verifikation von Prozessketten erweitert. Im ersten Teil wird eine Übersicht über die Funktionalität der Entwurfsumgebung gegeben, der zweite Teil konzentriert sich auf die Validierung von Prozessketten.

CAD-Entwurfsumgebung für Mikrokomponenten (CAD Environment for Micro Components)