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Das weiterentwickelte und optimierte Design eines auf Bulk-Silizium-Technologie basierenden 3-D-Kraftsensors wird beschrieben. In vorangegangenen Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass sich dieser Kraftsensor zum Einsatz in der taktilen Wegmesstechnik als Antastsensor eignet. Das Sensorelement besteht aus einer mit mikrotechnischen Herstellungsverfahren gefertigten Silizium-Bossmembran. In diesem Bericht wird ein neues Design und eine neue Auswertungsstrategie für diesen Sensortyp beschrieben.

Mikrotaster für Anwendungen in der taktilen Wegmesstechnik (Micro Probe for Dimensional Metrology)