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Die Weißlichtinterferometrie ist eines der wenigen Messprinzipien, welche eine berührungslose Vermessung von Objektoberflächen mit einer Genauigkeit von wenigen nm gestatten. Zylindrische Objekte weisen für dieses Prinzip ungeeignete Eigenschaften auf, da die Interferometrie nur eine geringe Neigung der Objektoberfläche erlaubt. Bislang wird das Messobjekt während einer Messung mit einem Weißlichtinterferometer entlang der optischen Achse des Systems verfahren. In diesem Beitrag stellen wir eine Möglichkeit zur vollständigen Vermessung zylindrischer Körper vor, bei der wir die axiale Bewegung durch eine Drehbewegung ersetzen.

tm - technisches messen

Optimierung der Weißlichtinterferometrie für die Vermessung zylindrischer Objekte (Optimisation of White Light Interferometry for Measuring Cylindrical Objects)