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Mikrospektrometer besitzen ein großes Potenzial in der IR-Absorptionsspektroskopie. Im Beitrag werden durchstimmbare IR-Sensoren für das mittlere und langwellige Infrarot vorgestellt, welche auf pyroelektrischen Detektoren und mikromechanischen Fabry-Pérot-Filtern basieren. Ausgewählte Beispielapplikationen aus der medizinischen und industriellen Analytik werden erläutert und ein Ausblick auf eine neue Generation höher auflösender und schnellerer FP-Spektrometer gegeben.

Spektral abstimmbare IR-Sensoren für die industrielle Prozessmesstechnik und die medizinische Gasanalyse