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Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) setzen sich in der Sensorik immer mehr durch. In diesem Zusammenhang werden planare Strahler-Empfänger-Baugruppen mit Siliziumfotodioden, vertikal emittierendem Laser und integrierter Mikrooptik zur Messung von Partikelanzahlkonzentrationen in Flüssigkeiten vorgestellt. Zwei unterschiedliche Varianten des Sensors, mit und ohne Mikrooptik zur Formung der Primärstrahlung, werden miteinander verglichen. In dieser Arbeit wird durch Experimente gezeigt, dass für die Anordnung mit Mikrooptik eine deutlich verbesserte Sensitivität erreicht werden kann.

Strahler-Empfänger-Baugruppen zur Messung von Streulicht — eine Alternative zu Partikelzählern?