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Der Beitrag gibt einen Überblick über neuere Entwicklungen von Normalen und Messverfahren für die 3D-Mikro- und Nanometrologie mit Fokus auf Arbeiten der PTB. Ziel der Entwicklungen ist die Verringerung der Messunsicherheiten von Messgeräten zur dimensionellen Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen.

Neuere Entwicklungen von Normalen für die 3D-Mikro- und Nanometrologie