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In der IR-Absorptionsspektroskopie gibt es ein großes Potenzial für Mikrospektrometer z. B. für die Mehrkomponentenanalyse in der Gasmesstechnik. Es wird ein Mikrospektrometer für den Spektralbereich 3–5 μm vorgestellt, welches auf einem pyroelektrischen Detektor und einem MEMS-Fabry-Pérot-Filter (FPF) basiert. Die Gestaltung des optischen Systems hat großen Einfluss auf das spektrale Auflösungsvermögen und den Signal-Rausch-Abstand des FP-Spektrometers.

Aufbau und Betrieb eines Infrarot-Mikrospektrometers auf der Basis eines MEMS-FP-Filters