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Die taktile Messung von Mikrobauteilen erfordert Taster mit sehr kleinen Antastelementen und Antastkräften. Der taktil-optische Taster (sog. Fasertaster) stellt hierbei eine herausragende, etablierte Lösung dar und erlaubt auch die Messung von ansonsten unzugänglichen Mikrogeometrien. Allerdings war durch die auf diesem Prinzip basierende taktil-optische Messmethode bislang keine volle 3D-Messfähigkeit erreichbar. Neue Ansätze zur Überwindung dieser Einschränkung stellen die stereoskopische Erfassung der Tastkugel sowie die auf einem Speckle-Muster basierende Auswertung der  z -Auslenkung des Tastelements dar.

Taktil-optischer 3D-Taster zur Messung von Mikrobauteilen Three-Dimensional Tactile-Optical Probing for the Measurement of Microparts