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Die Form von optisch rauen Oberflächen lässt sich mit Hilfe von Speckle-Interferometern aus variabler Messdistanz selbst in schwer zugänglichen Regionen präzise vermessen. Durch die Einbindung eines Micro-Mirror-Arrays wurde erstmals versucht, die Phasenfront der Referenzwelle variabel an messtechnisch kritische Oberflächenbereiche zu adaptieren, um die bisherigen Grenzen der Auflösbarkeit zu überwinden. Im Rahmen dieser Publikation werden erste Messresultate vorgestellt.

tm - technisches messen

Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen  Micro-Mirror-Arrays (MMA) Used to Improve the Resolution of Surface Shape Measurements