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Um den vielfältigen Anforderungen auf dem Gebiet der dimensionellen Mikro- und Nanometrologie gerecht zu werden, ist ein Koordinatenmessgerät (KMG) auf der Basis der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NMM) aufgebaut worden. In den vergangenen Jahren sind zwei Typen von taktilen Mikro-/Nanotastern entwickelt und an dieses Gerät angekoppelt worden. Im vorliegenden Beitrag wird über die Entwicklung des Mikro-/Nano-KMG berichtet. Es werden Details zum Design der wichtigsten Komponenten (Positioniersystem, Antastsystem, Software), zu Methoden der Taster-Charakterisierung sowie zu Messergebnissen an einem typischen Prüfkörper präsentiert.

tm - technisches messen

Rastersondenmetrologie: Vom metrologischen Rasterkraftmikroskop zum Mikro- und Nanokoordinatenmessgerät  Scanning Probe Metrology: From the Metrological SFM to the Micro/Nano CMM