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Es wird ein optischer Durchflussgeber für die Messung des Volumenstroms einer Flüssigkeit in einer Mikrobohrung vorgestellt, der bei Anströmung mittels Freistrahl erfolgreich verwendet wurde. Als Mikrobohrung wurde eine Glaskapillare mit einem Innendurchmesser von 0,15 mm benutzt, die in eine 2 mm dicke Messplatte eingesetzt wurde. Wesentliche Bauelemente des Durchflussgebers sind ein LED-Beleuchtungssystem und ein faseroptisches Ortsfilter. Das Messverfahren wurde an einem Laboraufbau mit kreisrundem turbulenten Freistrahl sowie in einer Technikumsanlage zur horizontalen Leiterplattenbeschichtung eingesetzt.

Optische Durchflussmessung in einer frei angeströmten Mikrobohrung Optical Flow Measurement in a Micro Through-Hole with Inflow by a Free Jet