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Messergebnisse sind die fundierte Grundlage von Entscheidungen in der Industrie. Für das Treffen richtiger Entscheidungen ist daher die Güte der Messergebnisse essenziell. Für Messverfahren der Mikro- und Nanotechnologie fehlen bislang praxisgerechte Handlungsanweisungen zur konkreten Ausgestaltung des abstrakten Vorgehens nach dem ISO-“Guide to the expression of uncertainty in measurement” (GUM) zur Berechnung des Güteparameters “Messunsicherheit”. Im Gegensatz zum GUM bietet die Fähigkeitsanalyse den Vorteil praxisgerechter, konkreter Handlungsanweisungen. Im Artikel wird eine auf Methoden der Fähigkeitsanalyse basierende Messunsicherheitsanalyse für Stufenhöhenmessungen mit dem Weißlichtinterferometer dargestellt.

technisches messen/tm. technisches messen

Praxisgerechte Messunsicherheitsermittlung bei Messungen mit dem Weißlichtinterferometer (Practice-Oriented Evaluation of the Uncertainty of Measurements with White-Light Interferometer)