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Die industrielle Produktion von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen und Systemen erfordert die Entwicklung einer adäquaten Messtechnik zur Qualitätssicherung, da die Ist-Ausprägungen von Standardgeometrieelementen eine wesentliche Entscheidungsgrundlage für eine zuverlässige Funktionsbeurteilung und effiziente Regelung von Fertigungsprozessen bilden. In diesem Zusammenhang beschäftigt sich der Beitrag mit der Gegenüberstellung von unterschiedlichen Messverfahren für standardgeometrische Messaufgaben im Mikrometerbereich. Die Ergebnisse von zwei durchgeführten Ringvergleichen werden in diesem Artikel vorgestellt und diskutiert.

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Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)