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Grundlage jeder dimensionellen Messung ist die Erfassung der Oberfläche des Messobjekts bzw. ausgewählter Punkte darauf mit Hilfe von Tastsystemen. Vor allem im Bereich der Mikro- und Nanomesstechnik steht bisher kein universelles Tastsystem zur Verfügung, welches eine adäquate Bearbeitung zumindest einer Vielzahl mikromesstechnischer Aufgaben ermöglicht. Systeme basierend auf optischen, taktilen, elektrischen und weiteren Wechselwirkungen mit der anzutastenden Oberfläche werden heute angeboten. Der Beitrag gibt eine Übersicht über den Stand der Technik und die Herausforderungen bei der nanometeraufgelösten Oberflächenerfassung.

technisches messen/tm. technisches messen

Tastsysteme für die Mikro- und Nanomesstechnik: Nanometeraufgelöste Oberflächenerfassung (Probing Systems for Micro and Nano Metrology: Nanometer-Resolved Surface Detection)