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Es werden Herstellung und Charakterisierung eines faseroptischen Elementarsensors zur Temperaturmessung vorgestellt. Der Sensorkopf in Form eines Prismas aus Indiumphosphid nutzt die Temperaturabhängigkeit der Absorptionskante des Halbleitermaterials. Aufgrund der Abmessungen des Prismas im Grenzbereich von Feinmechanik zu Mikrosystemtechnik ist ein angepasstes Herstellungsverfahren notwendig.

tm - technisches messen

Herstellung und Charakterisierung eines extrinsischen faseroptischen Elementarsensors zur Temperaturmessung    Manufacture and Characterization of an Extrinsic Elementary Fiber-Optical Sensor for Temperature Measurement