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Es werden piezoresistive Cantileversonden beschrieben, die für die Kontur- und Rauheitsbestimmung an mikroskopischen Bauteilen mit hohem Aspektverhältnis konzipiert sind. Sie sind weiterhin als transferierbare Krafteinstellnormale im Bereich von Nano- bis Millinewton einsetzbar. Als ein Beispiel für dimensionelle Messungen werden Rillen- und Rauheitsnormale sowie Eindrücke von Prüfkörpern zur Härtebestimmung charakterisiert. Der Einsatz von transferierbaren Krafteinstellnormalen zur Weitergabe geringer Kräfte wird vorgestellt. Messergebnisse an handelsüblichen Tastschnittgeräten sowie die Messung von Mikronewton-Kräften an lebenden einzelnen Herzmuskelzellen werden gezeigt.

Kontur-, Rauheits- und Kraftmesstechnik mit Silizium-Cantileversonden (Shape, Roughness and Force Metrology using Silicon Cantilever Sensors)