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Die Massenspektrometrie gehört zu den wichtigsten Verfahren zur Identifikation von Stoffgemischen. Bisher werden Massenspektrometer jedoch hauptsächlich im Labor eingesetzt, da diese Geräte sehr groß, teuer in der Anschaffung und kompliziert in der Bedienung sind. Um einen Feldeinsatz zu ermöglichen wird ein vollständig integriertes Massenspektrometer, hergestellt in MEMS-Technologie, vorgestellt. Auf Grund der geringen Größe des Systems von nur 5 × 10mm 2  kann das Massenspektrometer bei einem Druck von 1Pa betrieben werden, was eine wesentliche Vereinfachung des Vakuumpumpensystems ermöglicht. Der Preis des beschriebenen Systems ist durch die Massenproduktion in Mikrosystemtechnik um Größenordnungen niedriger als bei herkömmlichen Systemen. Massenspektren, die mit dem Mikromassenspektrometer gemessen wurden, belegen die Funktion dieses Systems.

Ein tragbares Massenspektrometer in MEMS-Technologie (A Portable MEMS-based Mass Spectrometer)