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Die Ultraschallmikroskopie ermöglicht hochauflösende und zerstörungsfreie Materialprüfungen im Mikrobereich durch stark fokussierte und hochfrequente Schallfelder. Am Beispiel der Messung an Mikrobeschichtungen werden neue Messstrategien, Auswertungs- und Einsatzmöglichkeiten dieser Technologie vorgestellt.

tm - technisches messen

Messstrategien für die zerstörungsfreie Schichtmessung mittels Ultraschallmikroskopie    Strategies for the Non-Destructive Characterization of Thin Layers with Scanning Acoustic Microscopy