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Dieser Artikel beschreibt die Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine (NCMM) mit rasterkraftmikroskopischer Antastung für großflächige Messungen in zweieinhalb Dimensionen. Es wird der Systemaufbau aus einem Positioniersystem und einem Rasterkraftmikroskop vorgestellt und es werden Maßnahmen bezüglich Reduzierung von Messunsicherheiten, Verkürzung der Messdauer und Verbesserung der Bedienbarkeit aufgezeigt.

tm - technisches messen

Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)