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Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) sind technologische Ausrüstungen, die die Positionierung, Antastung und Messung von zentimetergroßen Objekten mit Nanometerpräzision ermöglichen. Die Ausgabe von Messergebnissen erfordert die Angabe von Messunsicherheiten. Der vorliegende Artikel beschreibt ein neuartiges modulares Konzept zur Erstellung von Mess-unsicherheitsbudgets für NPM-Maschinen auf der Basis eines vektoriellen metrologischen Modells.

tm - technisches messen

Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)