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Der vorliegende Beitrag beschreibt neue Anwendungen der Nanomessmaschine des Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau. Die neuen Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik resultieren aus der Entwicklung von nanoskaligen Tastsensoren, die in der Nanomessmaschine nur als Nullindikatoren eingesetzt werden. Entwickelt und erprobt wurden: Fokussensor mit 10 mm Arbeitsabstand, Weißlichtinterferenzsensor, taktiler Tastschnittsensor und Rastersondenmikroskop mit Fokussensor. Gegenwärtig wird ein taktiler 3D-Taster der Fa. IBS Precision Engineering in die Nanomessmaschine eingebunden.

tm - technisches messen

Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)