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Für ein optisches Messsystem zur Analyse und Sicherung der Langzeitzuverlässigkeit von Mikrosystemen wurden zwei Demonstratoren mikroschwingungstechnischer Belastungseinrichtungen (Module) entwickelt. Das Akusto-Modul basiert auf einem speziellen Hochton-Lautsprecher. Mit dem Körperschall-Modul werden Sensorstrukturen berührend über einen Piezoaktuator angeregt. Zum Charakterisieren der thermo-mechanischen, insbesondere der dynamischen Sensoreigenschaften wird ein Laser-Scanning-Vibrometer eingesetzt. Die spektrale Lage der Eigenfrequenzen, die Amplitudenhöhe und die dazugehörigen Schwingformen gestatten Aussagen zum Bauteilverhalten und damit auch zur Zuverlässigkeit.

technisches messen/tm. technisches messen

Entwicklung und Test mikroschwingungstechnischer Belastungseinrichtungen für ein optisches Messsystem zur Zuverlässigkeitsanalyse von Sensoren (Development and Test of Micro-vibration Loading Techniques for an Optical Measuring System for Sensor Reliability Analyses)