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Die stürmischen Entwicklungen in der Nanotechnologie ziehen neuartige Anforderungen an eine produktionsumfeldgerechte Messtechnik nach sich. Ein Schwerpunkt dabei sind Mess- und Auswerteverfahren zur Bestimmung von Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen. Streulichtbasierte Verfahren bieten dafür besonders vorteilhafte Voraussetzungen. Die Grundlagen und Konzepte für eine fertigungsrelevante Umsetzung werden im Rahmen des DFG-Schwerpunktprogramms SPP 1159 im Teilprojekt „NanoStreu” untersucht.

Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessung (Nano-roughness Assessment by Light Scattering Measurement)