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Morphologische Filter sind nichtlineare Methoden, die von der Übertragung mengentheoretischer Verfahren auf die Bildanalyse stammen. Im Zusammenhang mit Oberflächen liefern sie eine geeignete Beschreibung ihrer Abtastung sowohl durch mechanische Tastnadeln als auch durch andere Verfahren wie Rastersondenmikroskopie. Der Artikel veranschaulicht die Grundlagen morphologischer Filter, diskutiert ihre Vorteile gegenüber herkömmlichen linearen Filtern und befasst sich schwerpunktmäßig mit ihrer Anwendung auf die Oberflächencharakterisierung. Das Problem der Wiedergewinnung des wahren 3D-Profils wird angesprochen, und die Bedingungen, die erfüllt sein müssen, um einen Informationsverlust zu vermeiden, werden diskutiert. Darüber hinaus werden neue formorientierte Methoden vorgestellt, mittels derer man Form, Welligkeit und Rauheit auf Basis der Profildaten errechnen kann.

Oberflächencharakterisierung durch morphologische Filterung (Surface Characterization by Morphological Filtering)