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Die mediengetrennte Gehäusung piezoresistiver Drucksensoren ist gegenüber den Kosten für das Silizium-Messelement unverhältnismäßig teuer. Der Einsatz neuer Werkstoffe und Fertigungsverfahren ermöglicht es, die Sensoren zu miniaturisieren, Kosten einzusparen und eine mikrocontrollerbasierte Fehlerkorrektur zu integrieren.

technisches messen/tm. technisches messen

Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen (Silicon-based Microsensors for Pressure and Differential Pressure with Media Separation for Industrial Applications)