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Dieser Beitrag behandelt die Entwicklung eines Differential-Interferometers mit einer neuen Konfiguration, um die Verschiebung von stark gekrümmten Prüflingen zu messen. In den vorhandenen Aufbau eines Differential-Interferometers wurde ein konfokaler Sensor mit dem Ziel integriert, die relative Position zwischen dem Prüfling und dem Strahlteiler zu bestimmen. Eine Experimentaleinrichtung wurde aufgebaut, um ein Tiefenmesssystem in einem kommerziellen Nanoindentation-Gerät zu kalibrieren, die auch die Vorteile des entwickelten Differential-Interferometers deutlich demonstriert.

technisches messen/tm. technisches messen

Ein Differential-Interferometer mit konfokalem Positionssensor zum Messen kleinster Verschiebungen eines stark gekrümmten Prüflings (A Differential Interferometer with Confocal Position Sensor for the Measurement of Very Small Displacements of an Object with Narrow Curvature)