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Durch die Entwicklungen im Bereich der Präzisionsmaschinen bzw. der Ultrapräzisionsbearbeitung von Oberflächen konnten zahlreiche Fortschritte bei der Herstellung großflächig mikrostrukturierter Formwerkzeuge erzielt werden. Mithilfe dieser Werkzeuge können z.B. Folien zur gezielten Lichtlenkung bei Computer-Displays oder platzsparende Beleuchtungskonzepte realisiert werden. Die innovativen Bearbeitungskonzepte stellen allerdings immer neue Herausforderungen für die notwendige Absicherung der Produktionsprozesse dar. Bei der Herstellung von großflächig mikrostrukturierten Oberflächen werden Messverfahren benötigt, mit denen komplexe Oberflächengeometrien in optischer Qualität schnell und möglichst direkt in der Werkzeugmaschine charakterisiert werden können. Von zentraler Bedeutung ist dabei die Messung steiler Kantengeometrien und die Reduzierung der Messzeit. Die hier vorgestellten Verfahren beruhen auf der gezielten Verkippung von mikrostrukturierten Bauteilen bzw. dem Einsatz flexibler Beleuchtungskonzepte, um Oberflächen mit steilen Flankenwinkeln messbar zu machen. Ein weiterer Ansatz basiert auf der Übertragung der interferometrischen Formprüfung in den Mikrostrukturbereich. Es wird dargestellt, wie Mikroprismen- und Mikrosphärenarrays schnell und vollautomatisiert hinsichtlich Formfehlern geprüft werden können.

technisches messen/tm. technisches messen

Prüfung großflächig mikrostrukturierter Oberflächen – Herausforderungen durch neue Produktionsverfahren (Testing of Large Area Microstructured Surfaces – Challenges through New Production Technologies)