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Da der industrielle Einsatz mikrotechnischer Produkte immer mehr zunimmt, kommt es zu einem erhöhten Bedarf an dimensioneller Messtechnik. Der vorliegende Beitrag beschreibt eine neue 3D-Mikromesseinrichtung und die zur Verfügung stehenden bzw. in Entwicklung befindlichen Mikrotastsysteme und ihre Eigenschaften und Verwendungsmöglichkeiten. Die zur Charakterisierung dieser Tastsysteme verwendete Mikrokraftmesstechnik wird ebenfalls beschrieben.

Taktile dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik (Dimensional Metrology for Components of Microsystem Technology)