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Hohe Anforderungen in den modernen Anwendungen photoelektrischer Längenmessgeräte erfordern deren umfassende metrologische Charakterisierung. Zur Bestimmung ihrer Gesamtlänge und ihrer Linearitätsabweichungen sowie zur Untersuchung ihrer Langzeitstabilität werden Längenkomparatoren benutzt, für die wiederum noch engere Spezifikationen gelten. In diesem Beitrag wird ein Komparator vorgestellt, der für Messlängen bis zu 120 mm Messunsicherheiten von weniger als 12 nm erreicht. Zeitliche Längenänderungen photoelektrischer Messgeräte in der Größenordnung eines Nanometers sind mit dem Komparator nachweisbar.

technisches messen/tm. technisches messen

Hochpräzise Messungen an photoelektrischen Längenmessgeräten mit einem 120-mm-Abbe-Komparator (High-Precision Measurements of Photoelectric Linear Encoders using a 120 mm Abbe Comparator)