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Die Anwendung der optischen Interferometrie hat eine große Bedeutung in der Präzisionsmessung, insbesondere für die Längen- und Winkelmessung. Bei der Längenmessung mit Planspiegeln ist es oft von großem Interesse, neben der Verschiebung auch den Kippwinkel des Messspiegels zu kennen. In der Regel benötigt man dazu ein zusätzliches Winkelmesssystem, z.B. ein Autokollimationsfernrohr oder ein bzw. zwei (für Nick- und Gierwinkel) Winkelinterferometer. Hier soll anhand einer theoretischen Analyse nachgewiesen werden, dass man bei der interferometrischen Längenmessung mit dem Ausgangssignal bestimmter Interferometer gleichzeitig auch den Winkel des Messspiegels in zwei Richtungen bestimmen kann. Mit dieser Methode kann eine Genauigkeit der Winkelmessung von 2´´ erzielt werden.

tm - technisches messen

Untersuchungen zur Gleichzeitigen Längen- und Winkelmessung mit einem Planspiegelinterferometer (Simultaneous Length and Angle Measurement with a Plane Mirror Interferometer)