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Der Beitrag stellt neue Komponenten (Zwei-Wellenlängen-Laser für die Holografie, Strukturprojektor für Streifenprojektionsverfahren) und Systeme (Streifenprojektionsverfahren mit einheitlicher Maßstabsverkörperung) vor.

Komponenten und Systeme für die 3D-Messung von Mikrostrukturen (Components and Systems for the 3D-Measurement of Microstructures)