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Die Kenndaten von Materialien in Mikrosystemen bzw. mikroelektronischen Komponenten können erheblich von denen im Bulkmaterial abweichen. Sie müssen daher häufig direkt an den fertigen Komponenten oder an mikroskopisch kleinen Testproben gemessen werden. Im vorliegenden Beitrag werden neue Methoden vorgestellt, die es gestatten, in Kombination mit Finite-Elemente-Verfahren Materialkenndaten an Komponenten aus mehreren Materialien zu messen. Am Beispiel von beschichteten Siliziumbalken wird demonstriert, wie thermische Ausdehnungskoeffizienten (CTE-Werte) von aufgesputterten Schichtmaterialien bestimmt werden. Des Weiteren wird ein neu entwickeltes Messverfahren für CTE-Werte und Poissonzahlen vorgestellt, welches an mikroskopisch kleinen Testproben einsetzbar ist.

Messung von Materialkennwerten an Komponenten der Mikrotechnik (Measurement of Material Properties on Micro Components)