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ZAIA

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Mit dem Ziel einer flexiblen und objektangepassten flächenhaften Beleuchtung wurde ein frei programmierbarer LCD-Matrixmodulator entwickelt. Zur Messung von Materialeigenschaften unter thermischer Belastung wurden Systemkomponenten zur präzisen Temperaturregelung im Vakuum sowie zur Kleinsignalverstärkung implementiert.

technisches messen/tm. technisches messen

Komponenten zur strukturierten Beleuchtung und Belastungssteuerung von Mikrobauteilen (Components for Structured Illumination and Loading Control of MEMS)