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In ein kommerzielles Rasterkraftmikroskop (SFM) wurden drei Miniatur-Laserinterferometer eingebaut. Diese Modifizierung dient dazu, das SFM zu kalibrieren und seine metrologische Leistungsfähigkeit zu verbessern. Dieses SFM wird für topographische Messungen einschließlich der Kalibrierung geometrischer Normale eingesetzt.

Über einige kalibrierte Rasterkraftmikroskope in der PTB (About Several Calibrated Scanning Force Microscopes in the PTB)