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In einem zweiteiligen Artikel wird über streifende Inzidenz-Interferometrie mit Hilfe von diffraktiven Referenzelementen berichtet. Streifende Inzidenz-Interferometrie ermöglicht auch das interferometrische Vermessen der Oberflächengestaltabweichungen bei rauhen Oberflächen.

technisches messen/tm. technisches messen

Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte I: Messprinzip und Theorie (Grazing Incidence Interferometry using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects I: Measuring Principle and Theory)