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Zur Bewegungs-, Verformungsund Schwingungsmessung eignen sich Verfahren basierend auf Interferometrie, Holografie und dem Specklephänomen. Diese Verfahren sind schon länger bekannt. Ihr Einsatz profitierte erst von der Entwicklung von Festkörperspeichern und leistungsfähigen Rechnern, aber auch der Laserentwicklung. Auch die entsprechende Software steht inzwischen zur Verfügung. Dies hat den kohärenten Verfahren im praktischen Einsatz insbesondere für den industriellen Einsatz zum Durchbruch verholfen. Weitere Arbeiten werden den Einsatz kohärent-optischer Verfahren in rauherer Industrieumgebung ermöglichen. Speckletechniken werden dazu besonders weiterentwickelt, da sie vielfach weniger störanfällig sind als holografische.

Kohärent-optische Verfahren in der Oberflächenmeßtechnik / Coherent-optical metrology