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Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) vereinen miniaturisierte Elektronik und Mechanik auf einem Substrat. Die Aufgabe der Elektronik liegt dabei typischerweise im Auslesen von Sensoren und der Anregung von Aktuatoren. In beiden Fällen Ist die Wechselwirkung zwischen Schaltung und Mechanik wesentlich für den Systementwurf. Dies erfordert eine dynamische Kosimulatlon der genannten Domänen, Der vorliegende Beitrag schlägt die Formulierung mechanischer, finiter Elemente (FE) In einer analogen Hardwarebeschreibungssprache (AHDL, Analog Hardware Descriptlon Language) vor, so daß diese dynamisch mit einer Schaltung simuliert werden können. Der Beitrag zeigt am Beispiel eines integrierten Drucksensorsystems, daß sich auf diese Weise komplette MEMS betrachten lassen und man somit bereits vor der Fertigung Informationen über die generelle Funktion, aber auch über wichtige Eigenschaften wie etwa Empfindlichkeit oder Linearität gewinnen kann.

it. information technology/information technology

Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme: Circuit Simulation with FInIte Element Models for MIcroelectromechanical Systems