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Die Entwurfsanforderungen in der Mikrosystemtechnik unterscheiden sich aufgrund der dreidimensionalen Produktstruktur und der Vielzahl von Technologien erheblich von denen der Mikroelektronik. Der vorliegende Artikel stellt zunächst das Kreismodell vor. Dieses Modell liefert die Basis für die Entwicklung von Werkzeugen zur Unterstützung des Layoutentwurfs für Mikrostrukturen. Als Beispiel dient das LIDO-System, das die Konfigurierung anwendungsspezifischer Prozeßschrittfolgen und die automatisierte Prüfung von Entwurfsregeln unterstützt. Weiterhin behandelt der Artikel den generellen Aspekt der Integration von Entwurfswerkzeugen zu Komplettsystemen. Der Ansatz der Entwurfsframeworks der Mikroelektronik erscheint hier nicht angemessen. Es sind vielmehr flexible, problemspezifisch konfigurierbare Werkzeuge gefragt. Es werden erste Ansätze vorgestellt, auf der Basis der Komponententechnologie verteilte, Internet-basierte Entwurfswerkzeuge zu realisieren.

Modelle und Werkzeuge für den fertigungsnahen Mikrosystementwurf: Mikrosystementwurf