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Kennze ichnend Tür integrierte Speicher ist, d a ß alle Speicherc lemente und ein Groß te i l der sonstigen zugehörigen Schaltungen gemeinsam hergestellt werden, und daß sie gleich in dem räuml ichen Z u s a m m e n h a n g ents tehen, in dem sie nachher Verwendung finden sollen. Dies geschieht bei Halblei terSpeichern ζ. B. auf der Oberf läche einer Halblei ter-Scheibe in einem regelmäßigen schachbret tar t igen Muster . Benötigt m a n nun Speicherebenen mit einer sehr g roßen Zahl von Speichere lementen , und geht man aus von den üblichen Me thoden des Lesens und Schreibens eines Speichers, so er forder t die integrierte Hers te l lungsar t , daß die Speicherelemente mit einer sehr viel geringeren Fehle rquote hergestellt werden müssen als bei den nichtintegrierten Speichern. Denn jedes fehlerhaf te Speicherelement stört die in Zeilen und Spal ten angelegte o r t h o g o n a l e „ V e r d r a h t u n g " und führ t dazu, d a ß das Speicherwor t , in dem es auf t r i t t , völlig u n b r a u c h b a r wird. Da es nun bis heute noch nicht gelungen ist, die Feh le rquo te bei der Hers te l lung auf Null he run te rzudrücken , und dies wahrscheinlich auch in absehbarer Z u k u n f t äußers t g roße Schwierigkei ten m a c h e n dür f te , gehen viele Über legungen heute dahin , bei der Hers te l lung zunächst kleinere Einhei ten mit wenig Speichere lementen herzustel len, die fehlerfreien Einhei ten d a n n auszusuchen und aus diesen dann einen größeren Speicher au f zubauen . Ode r man stellt zu A n f a n g schon mittelg r o ß e Einhei ten ( M e d i u m Scale In tegra t ion) ohne Lei tungs\ e r b i n d u n g e n her, und bringt anschl ießend eine auf die Fehler a b g e s t i m m t e „individuel le V e r d r a h t u n g " auf . D. h. man legt die Verb indungen so an , daß die fehlerhaf ten Elemente oder W o r t e ausgespar t sind. Die P r ü f u n g der Elemente erfolgt dabei durch S o n d e n ; meist wird diese Abtas t p r ü f u n g auch durch einen C o m p u t e r gesteuert , der anschließend sogar die Masken fü r die „individuel le Verd r a h t u n g " entwir f t .

it. information technology/information technology

Zuverlässiger Betrieb von LSI-Speichern mit relativ vielen fehlerhaften Bauelementen / Reliable operation of LSI-memories with relatively numerous defective elements