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Bei der Züchtung von einkristallinen Halbleiterwerkstoffen nach dem Gradient-Freeze-Verfahren werden an die Regelungstechnik hohe Anforderungen gestellt. Dies ist durch die Gewährleistung eines exakten Temperaturregimes beim Ankeimen und während der Züchtung begründet, das Voraussetzung ist für die Durchführbarkeit eines zeitaufwendigen Züchtungsprozesses. Grundlage für den Reglerentwurf ist die Systemidentifikation, mit der ein mathematisches Prozessmodell gewonnen wird, das das statische und dynamische Verhalten der Anlage im Züchtungsbereich ausreichend gut widerspiegelt. Im vorliegenden Beitrag wird die Identifikation von Mehrzonenöfen zur Einkristallzüchtung vorgestellt.

at - automatisierungstechnik

Betrachtungen zur Identifikation einer Gradient-Freeze-Anlage zur Einkristallzüchtung (Considerations on the Identification of a Gradient Freeze Plant for Monocrystal Growing)