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Bei der Ablaufplanung automatisierter Anlagen wird häufig ein regelbasiertes, iteratives Verfahren angewandt. In dieser Studie wird am Beispiel einer Nassbank aus der Halbleiterindustrie gezeigt, welches Potenzial dadurch verloren geht und wie die Ablaufplanung optimiert werden kann. Des Weiteren wird untersucht, wie sich durch Anpassungen am Aufbau der Anlage die durchschnittliche Durchlaufzeit noch weiter reduzieren lässt.

Ablaufoptimierung in einer Halbleiterfertigung: Potenzialanalyse am Fallbeispiel einer Nassätzbank