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Bei der Durchstrahlung dünner isolierender Folien mit schnellen Elektronen treten Aufladungen auf, die zwar eine elektronenmikroskopische Abbildung nicht beeinträchtigen, bei Schattenabbildung (Flimmereffekt) und bei Untersuchung von Kleinwinkel-Beugungserscheinungen aber sehr beträchtliche Störungen hervorrufen. Durch zusätzliche Bestrahlung mit langsamen Elektronen werden — je nach den Bestrahlungsbedingungen und dem vorhandenen Restgasdruck — die Aufladungen entweder beseitigt oder verstärkt, was besonders bei Schattenabbildung zu verschiedenen Erscheinungen führt, die qualitativ gedeutet werden.

Versuche zur Beseitigung von Aufladungen auf Durchstrahlungsobjekten durch zusätzliche Bestrahlung mit langsamen Elektronen